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净化车间设计技术应用中的几个热点问题分析
来源：
本站
发布时间：
2019-06-29 02:21:44
洁净室的气流快慢/换气次数，一直是洁净室擘画中蒙受眷顾的题材，乘势洁净室破铜烂铁的说了算效益有增无减及末级过滤器频率的增长等，对有关规范、导则等提出的举荐或参考值是否偏于保守，已有浩大讨论；FFU在动用中人人担心的噪音、破坏维修等问题已在实践中得到迎刃而解，乘机FFU的不断改进，对是否利用FFU回风体系也是个鹦鹉热：漂流活动分子污染（AMC）的决定在微电子及IC工业中已日益关联日程上去，蒙受体贴。偏下对这些题材的情形分别作归纳和条分缕析。
一、熏陶洁净室气流快慢非同小可因素
洁净室内势必洁净度下气流快慢的规定，随洁净室用场等具体情况而异，它不独受室内发尘量及过滤器频率还受其余要素默化潜移，就工业洁净室而言，熏陶洁净度及选项气流进度的因素国本是：
(1)室内垃圾：构筑物器件、人手数据及操作活动、工艺设备、工艺骨材及工艺加工本身等都是尘粒假释源，依据具体情况而异，变化很大；
(2)室内气流流型及分布：一方面流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备陈设和位置改成及人手活动情况等的烦扰形成组成部分涡流；而非单向流要求充错综，避免死角及温度支行；
(3)自净岁时（东山再起时日）的决定要求：洁净室中事故出狱或挟带污染物或氛围气流的暂停或正常操作时的间歇性对流气流或人及装具的活动等城邑诱致洁净度的毒化，过来到原来洁净度的自净流光控制于气流进度；对自净岁时的说了算要求取决于此时日框架内（毒化的洁净度下），对产品添丁的质量及成品率默化潜移的承受能力；
(4)末级过滤器的效率：在决然的室内发尘量下，可动用较高效率的过滤器以销价气流速度；为厉行节约应着想应用较高效率的过滤器，并暴跌气流速度，或利用较低效率的过滤器并行使较高的气流速度，以求流量与障碍的乘积最小；
(5)经济性考虑：过大的气流速度引致斥资及运转用度的日增，合适的气流快慢为之上诸因素合理的综合，过大往往不必要，亦不一定有功效；
(6)对洁净度渴求低的洁净室，有时换气次数驾御于室内排热的要求。
之上要素，皆很难量化，唯其如此浅析对比并打量。故而在工程使用中，对洁净室的气流速度往往参阅关于业内、导则等的荐举或参考值，再按具体情况度德量力以上各熏陶要素进行归结考虑后确定。
二、洁净室气流速度约计艺术
气流快慢用以单向流洁净室；非一面流洁净室宜用换气次数，因为其气流进度缠手测准；亦有用末级过滤满布率来体现的，可用以各种气流流型的洁净室，一般满布率100%相对于流速0.5m/s（100fpm），25%相对于0.125m/s（25fpm）。
(1)洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，另一方面流在合理的气流组织下，流速0.05～0.1m/s就十足携家带口污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散属性远不可企及对流属性；而出乎0.36m/s的气流速度反而易千百万涡流，挑起污染物的再株连。之所以，洁净室的完好无损自净时间Tr=体积/流率，到必定值后是因为污染物的再连锁反应，再附加气流进度，实质上的Tr并不再有明显的轻装简从。
(2)末级过滤器的频率对洁净度的默化潜移是值得起专注的。一对气流快慢/换气次数举荐或参考值对末级过滤器效率增长的因素往往没作考虑。目下HEPA/ULPA的频率从99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直到8个9如上都可选择。其效率对气流进度的熏陶除以上已提及外，之下上头亦犯得上引起在意，在非一边流情况下，按衡释规律的洁净室内含尘浓度稳定公式得以汲取：(a)室内发尘量较高时，末级过滤器效率的浮动对洁净度影响甚微，就此在这种情况下，过高的过滤效率是无必要的。(b)室内生出尘量较低的情况下，用到低的气流进度下，末级过滤器效率的变速器成形，对洁净度的震慑叠加。新风进末过滤器前的含尘深浅1.75×106个/m3室内发生量：G1=350个/m3.min；G2=3500个/m3.min；G3=35000个/m3.min；G4=350000个/m3.min；新风量对于全空气量的比值 0.03。
眼下一对IC工厂其ISO5级(0.3μm)的洁净室，动用FFU系统,带ULPA(99.9995%,0.12μm)，讲话风速为0.38m/s，其满布率为25%，这么着室内平均气流进度为0.095m/s，在各至于搭线或参考值的下限下。此洁净室的工艺加工在微环境内洁净室内的人手亦较少，足以以为洁净室内发出较低，这种情况下施用低的气流速度指不定是可取的。
当前IEST对洁净室内气流速度推荐值的下限具备降落，如：≤ISO5级：气流速度0.2～0.5m/s；ISO6级或5级（非一方面流）；换气次数＞200次/h；ISO7级：换气次数20～200次/h;ISO8级：换气次数2～20次/h;
三.洁净室净空FFU系统的施用
FFU在使用寿命及掩护上已经实践证明无可操神。目下其刮垢磨光紧要是：(1)运用均流及减掉噪声的解数，噪音可在50db之内;(2)电动机使役DC/EC（电子整流马达），以耗较原交流电动机省掉近50%，归因于小风机所用小容量（功率<1/2HP）的交流马达，维妙维肖皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%横竖，而DC/EC电机的频率可达75～80%；在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行说了算以节省能耗，但现阶段投资回收期尚长而未广泛采用，相像常用分组群控或满门群控。(3)但FFU说话光压未能过大，相似役使出言外之意速成0.38m/s，此时其气压维妙维肖在250Pa以内。
集锦的阅世的反映。如ISO/DIS 14664-4提出的数值皆明确适用于那类洁净室的；IEST的推荐值亦是被片段权威机构觉着仅适用于半导体工厂。由于具体情况变化较大，组成部分经验值想必已不契合时下的室内尘源控制措施及过滤器频率增高的景况。
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